电化学放电加工石英微细结构的研究
电化学放电加工(ECDM)是一种针玻璃、陶瓷等非导电材料进行加工的有效方法.为实现石英材料电化学放电微细结构加工,使用电化学刻蚀方法加工了针形微细电极,提出了精密测量电极-工件间隙的方法.研究了电解液浓度和电解液的液面高度对电化学放电加工中临界电压和临界电流的影响,实验表明,电解液浓度为2.5M/L、电解液的液面高出工件表面200μm时有利于获得最小的加工能量.研究了电极-工件间隙对加工尺寸的影响,电极-工件间隙为8μm时获得了直径14μm微孔和宽度19μm的微槽.
石英材料 电化学放电加工 微细结构 刻蚀方法
唐伟东 康小明 赵万生
上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室,上海200240
国内会议
北京
中文
123-127
2016-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）