电子束光刻胶成膜树脂研究进展

摘要：

电子束光刻作为下一代光刻技术,以其分辨率高和性能稳定被认为是在22nm节点最具有发展前景的光刻技术之一.本文归纳了电子束光刻胶用成膜树脂,主要分为聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、树枝状聚合物、分子玻璃、有机硅及碳材料以及其他用于电子束光刻的成膜树脂类型,综述了其研究进展,最后对电子束光刻胶未来的发展前景和方向进行了展望.

关键词： 成膜树脂 电子束光刻胶 化学成分

作者: 李虎 刘敬成 徐文佳 穆启道 郑祥飞 纪昌玮 刘晓亚

作者单位: 江南大学化学与材料工程学院,无锡214122 苏州瑞红电子化学品有限公司,苏州215124

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 92-106

在线出版日期: 2015-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）