厚膜光刻胶和阳离子光固化材料

摘要：

随着MEMS技术的发展,开发出用于MEMS制造的厚膜光刻胶十分重要.阳离子光固化体系因其无氧干扰,聚合反应不易终止等特点,适合作为厚膜光刻胶的组成材料.本文介绍了目前已商品化的厚膜光刻胶,对其树脂结构及感光机理进行了概述,同时对适用于厚膜光刻胶的阳离子光固化材料进行了介绍.

关键词： 厚膜光刻胶 阳离子光固化材料 树脂结构 感光机理

作者: 郭晔嘉 邹应全 庞玉莲

作者单位: 北京师范大学化学学院,北京100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 144-150

在线出版日期: 2015-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）