支化型光敏聚苯乙烯马来酸酐的合成及在光致抗蚀剂中的应用
以苯乙烯(St)、马来酸酐(MA)为共聚单体通过巯基链转移聚合法合成了具有不同支化单体含量的支化聚合物(BPSMA),通过傅立叶变换红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1H NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、热重分析仪(TGA)和差示扫描量热(DSC)等表征了BPSMA的结构与性能.结果表明,随着VBT含量的增加,聚合物分子量降低,玻璃化转变温度(Tg)降低;再以季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)进行接枝,引入双键,合成具有光敏性的线型共聚物(p-LPSMA)以及支化型共聚物(p-BPSMAs),实时红外表明随着支化单体含量的增加,双键转化率也随之提高.然后分别以p-LPSMA及p-BPSMA为基体树脂制备了光致抗蚀剂,显影后可以得到分辨率为50μrm的分辨率图像.
支化聚合物 聚苯乙烯马来酸酐 巯基链转移聚合法 结构表征 光敏性 光致抗蚀剂
李虎 刘敬成 徐文佳 穆启道 郑祥飞 纪昌玮 刘晓亚
江南大学化学与材料工程学院,无锡214122 苏州瑞红电子化学品有限公司,苏州215124
国内会议
苏州
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217-223
2015-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）