瑞奇-康芒法在大口径平面镜检测中的应用研究
在大口径平面镜检测过程中,瑞奇—康芒法是一种可实现高精度测量的方法.本文对瑞奇—康芒检测法测得数据中由瑞奇角带来的图像压缩进行展开处理,并按一定角度旋转被测平面镜,获得两角度下检测数据,通过对两角度检测数据的处理分析计算,得到被检平面镜面形的泽尼克(Zernike)系数,进而拟合出被检平面镜的面形误差,使检测结果更为准确地反映出平面镜面形情况,最后通过实验验证了瑞奇—康芒法的准确性与可行性.
平面镜 瑞奇—康芒法 泽尼克系数 面形误差
朱硕 张晓辉
中国科学院长春光学精密与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049 中国科学院长春光学精密与物理研究所,吉林长春130033
国内会议
武汉
中文
245-247
2013-10-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)