基于硅通孔的新型螺线管式差分电感

摘要：

硅基集成电感是射频集成电路的重要元件之一，本文提出了一种基于硅通孔技术的新型螺线管式差分电感.文章首先介绍了该差分电感的结构,然后从金属损耗和介质损耗两方面讨论了该差分电感的损耗机理,并且研究了几何参数对该差分电感性能的影响,最后还与平面型差分电感进行了比较.结果表明,本文所提出的螺线管式差分电感与平面型差分电感在具有相同感值的情况下,占用面积更小,品质因数更高.

关键词： 射频集成电路 螺线管式差分电感 结构设计 硅通孔 损耗机理

作者: 刘升 施永荣 王橙 唐万春

作者单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国微波毫米波会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1011-1014

在线出版日期: 2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）