0.34THz表面波振荡器慢波结构加工分析

摘要：

在太赫兹频段,表面波振荡器慢波结构的特征尺寸和趋肤深度都很小,对加工精度和表面粗糙度的要求很高.根据色散曲线,分析了慢波结构参数对0.34THz表面波振荡器频率变化的影响,给出了敏感参数,要求各参数的加工误差小于10％.利用等效表面阻抗,分析了表面粗糙度对传输损耗的影响,要求加工的表面粗糙度要小于趋肤深度.为了实现具有封闭结构特征的柱形慢波结构加工,设计了电火花加工工艺,给出了加工结果.

关键词： 太赫兹 表面波振荡器 慢波结构 电火花加工 加工精度 表面粗糙度

作者: 陆希成 李爽 童长江 王光强 王雪锋

作者单位: 西北核技术研究所,西安710024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国微波毫米波会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1389-1393

在线出版日期: 2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）