500GHz加载平面波纹的喇叭天线设计
本文提出了一种基于硅基片MEMS工艺,工作于500GHz的低剖面角锥喇叭天线.通过加载平面波纹开槽结构,使得普通500GHz角锥喇叭天线受加工工艺限制,增益低、副瓣高的问题得到改善.通过HFSS软件仿真对波纹开槽结构对天线的增益和副瓣电平的改善效果进行了分析.对于天线的整体结构,给出了较为详尽的湿法刻蚀与干法刻蚀相结合的MEMS工艺实现方法,使得太赫兹频段天线结构的精度要求得以满足.
喇叭天线 微机电系统 波纹开槽结构 增益性能 副瓣电平
高子健 赵鹏飞 司黎明 刘埇 吕昕
北京理工大学信息与电子学院电子工程系,毫米波与太赫兹技术北京市重点实验室,北京100081
国内会议
重庆
中文
1402-1405
2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）