基于MEMS工艺的太赫兹功分器

摘要：

本文根据分支波导定向耦合器的工作原理,结合考虑MEMS刻蚀工艺,设计出一款应用于太赫兹波段的3dB功率分配/合成器.基于全波仿真软件HFSS的仿真结果表明,该功分器性能优异,在0.375-0.385THz频段应用范围内,隔离度大于40dB,各端口回波损耗小于40dB,插入损耗小于0.2dB.

关键词： 太赫兹功率分配器 分支波导定向耦合器 微机电系统 隔离度

作者: 黄昆 胡江 刘双 钟伟 国云川

作者单位: 电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室,成都611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国微波毫米波会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1406-1409

在线出版日期: 2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）