黏弹薄膜对声表面波传播特性影响的数值研究

摘要：

理论分析了声表面波(SAW)对沉积在压电基片表面的黏弹薄膜的响应特性,建立了研究SAW传播特性的数值仿真模型.采用有限元方法数值分析了黏弹薄膜的质量负载和黏弹性对SAW传播特性所产生的影响,发现SAW信号的振幅衰减及中心频率漂移,随黏弹薄膜的质量负载和黏弹性的改变而发生敏感且单调的变化。

关键词： 声表面波 传播特性 黏弹薄膜 质量负载 黏弹性

作者: 白云山 邓明晰

作者单位: 后勤工程学院基础部,重庆 401331

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会第十一届青年学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 6-9

在线出版日期: 2015-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）