温度对FBAR拉伸模态下频率特性的影响
(0) 这篇文章研究了温度对压电薄膜谐振器(FBAR)拉伸模态下频率特性的影响.首先基于压电材料的压电弹性方程,推出FBAR在拉伸模态下的振动方程并设定其自由振动的边界条件.然后设定含有未知量的振动方程解的形式,通过边界条件确定其中的待定常数.得到了FBAR的串联和并联谐振频率,讨论了温度对FBAR的谐振频率,带宽和有效机电耦合系数的影响.文中给出了一个数值算例,显示了温度效应的影响.这个结果对FBAR的应用有一定的指导意义.
压电薄膜谐振器 拉伸模态 频率特性 温度效应
黄德进 蒋佳丽 王骥
宁波大学 工程力学系,宁波 315211
国内会议
雅安
中文
214-216
2015-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）