近场微波显微镜(NSMM)测量介电常数的研究
本文介绍了近场微波显微镜(NSMM)的主要结构及其进行介电常数定量测量的方法.本文基于有限元分析方法,采用HFSS和COMSOL软件对近场微波显微镜进行仿真,研究了探针和样品间距和样品介电常数引起的测量影响.结果表明由微波谐振腔和微波探针组成的微波近场测试系统，将微波能量集中在探针上的近场区域，具有高精度和高灵敏度的特点。微波经常测试系统可以定量获取介电特性、电导率、磁导率等，从原理和技术上是可行的。利用微波的穿透性，对多层膜样品或有保护层的薄膜样品进行微波近场特性测试，定量提取待测的中间层薄膜的电磁参数，并无损检测中间层缺陷，从原理和技术上也是可行的。
介电常数 近场微波显微镜 测量间距 测量精度
杨山 吴喆 张兆镗 曾葆青
电子科技大学物理电子学院,成都610054
国内会议
南京
中文
117-120
2015-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）