一种用于激发微波等离子体的新型矩形压缩波导仿真设计
微波等离子体在工业生产中有着极好的应用前景,压缩波导是最为常见的等离子体反应器耦合装置之一.但是,单端口激励的压缩波导仍存在激发场强不够高的问题制约着其进一步应用.针对这一问题,利用HFSS仿真软件仿真优化,提出了一种新型的两端口压缩波导结构.仿真结果表明:在相同的输入功率条件下,两端口压缩波导中反应腔电场强度大约提高到单端口的两倍，表明同样的结构两端口馈能的方式能使微波能量最大限度的耦合到反应腔内且能高效的激发产生等离子体。
压缩波导 结构设计 微波等离子体 电场强度
周蓉 杨晓庆
四川大学,四川 成都 610064
国内会议
南京
中文
137-140
2015-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）