MPCVD法玻璃上高光透率类金刚石膜的沉积

摘要：

本实验使用石英钟罩MPCVD装置,采用”四步沉积法”在含有Ti原子层的玻璃表面,沉积类金刚石膜.保证其他参数不变,通过沉积温度的改变来研究温度对类金刚石膜表面形貌及光透过率的影响.结果表明,提高沉积温度可减少类金刚石膜表面的团聚,提高平整度,同时,提高沉积温度可提高光透过率,当温度为650℃,光透过率为94.8％.

关键词： 类金刚石膜 微波等离子体化学气相沉积法 沉积温度 平整度 光透过率

作者: 孙祁 翁俊 刘繁 周璐 汪健华

作者单位: 武汉工程大学 材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国微波能应用学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 141-144

在线出版日期: 2015-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）