”BMIM””TfO”离子液体电沉积铜和铟工艺的研究

摘要：

本文提出用一种可在空气和水中稳定的咪唑类离子液体—1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐(”BMIM””TfO”)作为溶剂电沉积制备铜和铟金属.循环伏安法研究表明,”BMIM””TfO”离子液体中,Cu2+离子在玻碳电极上的放电过程分为两步,In3+离子的放电过程为一步.采用恒电势法在钼基体上电沉积制备了金属铜和铟薄膜,研究了沉积电势和温度对沉积层形貌的影响.

关键词： 铜金属 铟金属 电沉积 1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐

作者: 张杰 安茂忠 姬姗姗 连叶 杨培霞 张锦秋

作者单位: 哈尔滨工业大学化工学院,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电子制造与封装技术分会电镀专家委员会第十七届学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-9

在线出版日期: 2015-08-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）