超薄含硼聚晶钻石轮刀开发与细胞镜检芯片模仁制作研究

摘要：

本研究旨在开发”细胞镜检芯片模仁”.首先,设计并开发双轴式超精微CNC工具机,再于此工具机上建构线式放电研削技术,以便加工出同心且薄刃的含硼聚晶钻石轮刀.再利用此轮刀以”在线高速快浅研削技术”对NAK80模具钢进行数组微沟加工.实验证实,通过线切割放电成型,能制作出刃宽5μm的含硼聚晶钻石轮刀,并能对NAK80模具钢成功开发出宽度8μm的数组微沟.因轮刀系在线成型,故加工能以主轴原始精度进行,而获致极高稳定度之研削效能,大幅度省去复杂的校正时间.本研究亦于开发的工具机上,建构立式抛光轴,以便能在线精抛模仁表面,并移除数组微沟毛边;表面粗糙度可达0.045μm.此外,因采纳米深度研削,每道切深移除量极少,故钻石轮刀能处于常温加工,有效减缓钻石中碳原子与铁原子的亲和速度,材料移除机制仍容许轮刀以钻石结构对模具钢的铁原子进行差排剪切.

关键词： 含硼聚晶钻石轮刀 制备工艺 细胞镜检芯片 表面粗糙度 研削技术

作者: 陈顺同 张智贤 杨士纬

作者单位: 中国台湾师范大学机电工程学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 153-160

在线出版日期: 2013-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）