剃须刀锋刃沉积金刚石薄膜的实验研究

摘要：

在刀刃上直接沉积纳米级的金刚石薄膜，使刀刃受到保护、不受腐蚀，剃须时不易刮伤脸面。采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)辅助热丝化学气象沉积(rHF-CVD),即RF-HFCVD,以CH4、H2、Ar为气源,在AF1钨钢剃须刀刃上,沉积纳米级金刚石薄膜.研究了沉积压力、CH4/H2流量比的变化对薄膜沉积的影响,采用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)对薄膜的形貌和成分分析,利用Rockwell硬度计测试了膜基结合力.结果表明,沉积压力、CH4/H2流量比的变化对金刚石膜的表面状况影响很大,薄膜中sp3含量呈现先升高后降低的变化,并在700Pa、5.5％的碳氢比时达到最大值.压痕测试发现薄膜有微小的裂纹,膜基结合强度良好.

关键词： 剃须刀 金刚石膜 化学气相沉积 微观形貌 薄膜成分

作者: 杨德威 郭增印 栗正新

作者单位: 河南工业大学材料科学与工程学院,河南郑州450001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 191-197

在线出版日期: 2013-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）