磁控溅射AZO薄膜表面形貌的探讨与优化

摘要：

本文主要探讨利用磁控溅射法获得优良光学和电学性能的AZO薄膜,并研究优化的湿化学蚀刻方法获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃,用于提高非晶硅薄膜电池的光电转换效率。

关键词： 掺铝氧化锌薄膜 磁控溅射 表面形貌 光学性能 电学性能

作者: 邵世强 李晓东

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年中国玻璃行业年会暨技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 134-137

在线出版日期: 2013-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）