直流磁控溅射气氛和沉积时间对活塞表面CrNx耐磨薄膜性能的影响
研究溅射气氛和沉积时间对在活塞用钢表面直流磁控溅射制备氮化铬薄膜性能的影响.氮气含量从3％变化到50％,沉积时间从10min变化到60min,沉积得到一系列的氮化铬薄膜试样.利用XRD,SEM和AFM观察薄膜相组成,表面和断面形貌,利用力学探针和硬度测试仪测试氮化铬薄膜的硬度,弹性模量和摩擦系数.随着氮气浓度的增加,薄膜内的氮含量随之提高,生长速率下降,表面粗糙程度增加;薄膜在10％和40％时表现出高硬度,在10％表现出高弹性模量.当氮气浓度达到40％即可得到单一的CrN薄膜,薄膜生长成致密的柱状结构,表面晶粒为排列整齐的四面体形貌.浓度增到50％时,薄膜致密度下降,且表面出出现裂纹。
活塞用钢 氮化铬薄膜 直流磁控溅射 微观形貌 力学性能
杨柳 殷晨波 朱斌 张子立
南京工业大学机械与动力工程学院,江苏南京210009
国内会议
江苏徐州
中文
160-166
2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）