高精度光学超半球面离子束确定性抛光技术研究
将离子束确定性修形这一光学加工新技术应用到高精度超半球面的加工过程,实现了超半球面的纳米精度加工,不但提高了该类零件的加工精度,而且显著地提高了加工过程的可控性和误差收敛效率.首先,为了给离子束确定性修形技术提供了检测和评价手段,主要研究了子孔径拼接干涉测量技术,获得了超半球面的全局面形误差分布;其次,基于Sigmund溅射理论和CCOS成型原理,研究了适合超半球面的离子束确定性修形技术的新理论和新工艺;最后,在自行研制的离子束抛光机床上对一个半球面和全球面进行了抛光实验,在较短的时间内,其面形误差的PV值都收敛到了纳米量级.研究结果表明:离子束确定性抛光技术能够实现超半球面纳米精度的高可控性和高效率制造,为提高该类光学零件的制造水平提供了理论支持和工艺基础.
球体类零件 离子束确定性修形技术 工艺优化 精度控制
廖文林 戴一帆 解旭辉 周林
国防科技大学机电工程与自动化学院,湖南长沙410073
国内会议
长沙
中文
49-60
2012-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）