关键词： 分子束外延生长 Si薄膜 Er硅化物
作者: 陈刚 万钧 王迅
作者单位: 复旦大学应用表面物理国家重点实验室(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 36-36
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）