分子束外延GaAs衬底的化学制备

摘要：

分子束外延是制备超晶格等微结构材料的重要手段之一。由于分子束外延不角液相外延或化学气相外延那样，在生长羊可进行原位回熔或腐蚀。因此衬底表面质量的好坏对分子束外延层的质量有极大的影响。

关键词： 分子束外延 微结构 衬底质量 GaAs衬底 化学制备

作者: 李灵肖 金才政 曾一平 潘昆

作者单位: 中国科学院半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 142～142

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）