微电子工厂的大宗气供应系统的设计建造

摘要：

本文对微电子工厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述,同时结合自己对多个TFT-LCD工程设计经验,对TFT-LCD8.5G厂中的大宗气体的需求及系统配置案例做介绍,指出大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成，其中供气系统又可细分为气源设备、纯化设备和品质监测等几个部分，对当前大宗气体站的建造运营模式做介绍分析,提出了大宗气体供应模式中值得注意和考虑的问题,对大宗气体站的建造运营模式的发展方向作了探讨.

关键词： 微电子工厂 大宗气体 供气系统 输送管道系统 规划设计

作者: 廖国期 安志星

作者单位: 中国电子工程设计院,北京100142

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 13-23

在线出版日期: 2014-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）