集成电路芯片制造用大宗气体;特种气体供应
本文对集成电路芯片制造用大宗气体;特种气体供应系统的设计设备配置;输送管路等进行了简介,同时对大宗气体品质;特种气体的特性进行了表述,可供有关系统;科技人员参考，文章指出要保证大宗气体的供应，气体生产供应工艺的合理设计、管道/阀门/附件的正确选择、高质量的施工安装以及严格的测试/试验，是建设一个可靠、高效的大宗气体供应系统的重要环节。特种气体一般由于用量较少，且制取工艺复杂，均为外购供应，但需要在工厂内设特种气体储存、分配系统。
集成电路芯片 生产工艺 大宗气体 特种气体 供应系统 规划设计
周向荣 安志星
中国电子工程设计院
国内会议
中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛
上海
中文
24-32
2014-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）