电子气体系统技术应用现状和发展趋势

摘要：

论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,指出大宗普通气体多采用现场制气(On-site或工业园区管道(Pipeline)集中供应方式，并就高纯度;大流量;严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。

关键词： 电子气体 输送系统 结构设计 供应模式

作者: 李东升 黄勇

作者单位: 上海正帆超净技术有限公司,上海 201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 125-128

在线出版日期: 2014-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）