特种气体在电子行业中的应用

论述了特种气体在集成电路;太阳能电池;化合物半导体;液晶显示器和光纤预制棒等电子行业的应用,并就其使用安全提出了如下建议:首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患,其次,采用监测手段,预防事故发生,最后,采用减灾措施,降低事故后果。
电子设备 特种气体 危害性分析 安全管理
李东升
上海正帆超净技术有限公司,上海 春中路 56 号 201108
国内会议
中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛
上海
中文
139-144
2014-01-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)