MEMS压阻悬臂式湿度传感器的设计与优化
MEMS湿度传感器以其体积小、响应快、线性好、精度高等优点受到越来越多的重视.本论文设计的MEMS压阻式湿度传感器的工作原理是当环境湿度变化时,利用感湿聚合物(聚酰亚胺)吸收水分后体积膨胀产生张力,使得压阻附近的应力增大,其阻值产生相应的变化,利用惠斯通电桥产生了变化的电压信号.文中通过使用ANSYS软件对不同尺寸的MEMS湿度传感器进行仿真,通过比较应力集中区最大应力的大小,确定灵敏度最大的方案.通过比较得出,悬臂式的湿度传感器,灵敏度与悬臂梁的长度变化关系不大,而宽度确实一个重要的参数.最后文中还给出制作悬臂式的湿度传感器所采用的加工工艺过程。
压阻式湿度传感器 微机电系统 制作工艺 悬臂梁 灵敏度
周永丽 黄庆安 黄见秋
东南大学MEMS实验室,江苏省南京市四牌楼2号,210096
国内会议
昆山
中文
39-42
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）