二维MEMS风速风向传感器测量误差校正技术的研究
本文为二维MEMS热式风速风向传感器设计了一种基于相位扫描的测量算法,以提高传感器的测量精度.本文的MEMS风速风向传感器系统采用恒功率控制模式,热温差工作原理测量风速和风向.传感器的控制和数据处理系统采用微控制器C8051F410,实现了传感器的智能化.为了解决实际实现中,由于传感器芯片的加工制造、划片和后序传感器芯片的封装出现误差而导致芯片的温度分布不对称和热点偏离芯片中心,最终造成传感器的实际测量误差较大的问题,本文采用这种基于相位扫描的算法,通过软件的方法校正测量误差.经过风洞测试证明,这种风速风向测量算法,能够有效地校正测量误差,使风速风向测量精度大幅提高.
传感器 微机电系统 风速风向测量 误差校正 相位扫描
项天彧 秦明
东南大学MEMS教育部重点实验室 南京 210096
国内会议
昆山
中文
57-61
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）