光刻误差对石英音叉陀螺正交误差的影响分析

摘要：

为了降低石英音叉陀螺的正交耦合误差,提高陀螺性能,测试了不同光刻对准情况下的石英音叉敏感元件的正交耦合误差,并测量了石英音叉的形貌,采用有限元分析建立了不同光刻误差的石英音叉仿真模型.通过对仿真结果及测试数据进行分析,结果表明,光刻对准误差是石英音叉陀螺正交耦合误差的主要来源,可通过光刻版设计进行补偿或抑制.

关键词： 微机械惯性传感器 石英音叉陀螺 光刻对准误差 正交耦合误差 有限元分析

作者: 孟丽娜 路文一

作者单位: 航天长征火箭技术有限公司测控部,北京100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 68-71

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）