基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究

摘要：

本文采用CoventorWare软件设计了一种与半导体工艺兼容的基于MEMS工艺的磁芯微电感.在输入电压1V时,分别在直流输入及1KHz低频交流输入下,用有限元方法模拟了三维磁场分布.计算结果表明,本文设计的磁芯微电感具有较好的低频特性,其电阻值为0.76Ω电感值为7.31nH.

关键词： 磁芯微电感 工艺设计 三维磁场 有限元模拟 低频特性

作者: 谈志杰 沈娇艳 程新利 王友清 潘涛 王冰 王文襄

作者单位: 苏州科技学院数理学院,江苏苏州215009 昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏昆山215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 85-87

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）