湿度影响SnO2基CO气体传感器敏感特性的机理研究

摘要：

为提高气体传感器的环境湿度稳定性,从实验和理论两个方面研究了湿度对半导体SnO2基CO气体传感器敏感性能的影响.对自制的CO传感器进行敏感特性测试,获得湿度影响传感器灵敏度的实验数据.构建了SnO2(110)表面模型及水分子在表面吸附的各种模型,采用密度泛函理论及广义密度近似方法,计算了水分子吸附对表面电特性的影响,研究了湿度影响传感器特性的机理.提出水分子与CO分子对表面同一吸附点存在着竞争吸附,是湿度影响CO气体传感器电导灵敏度的主要原因.

关键词： 气体传感器 氧化锡半导体 湿度稳定性 敏感特性 密度泛函理论

作者: 薛严冰 唐祯安 吕品

作者单位: 大连交通大学电气信息学院 辽宁大连 116028;大连理工大学电子科学与技术学院 辽宁大连116023 大连理工大学电子科学与技术学院 辽宁大连116023 辽宁大学物理学院 辽宁沈阳 110036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 170-174

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）