结合金属膜的YZ-LiNbO3压电基片上声表面波陀螺效应分析
在声表面波陀螺效应作用过程中,由于哥氏力的作用比较微弱,导致现有的声表面波陀螺仪的检测灵敏度极低.为了改善哥氏力作用,在声表面波传播路径上分布金属点阵以增加质量负载,将有可能获得良好的灵敏度性能.本文结合研究层状介质中声波传输特性的方法对YZ-LiNbO3压电基片上的金属膜层对陀螺效应的影响做了理论计算.对比分析有无金属膜层的压电基片中陀螺效应的大小,以及不同金属材料对陀螺效应的影响作用,验证了用布置重金属点阵的方法来提高行波模式声表面波陀螺仪检测灵敏度的可行性,从而为高性能行波模式声表面波陀螺仪的研制奠定理论基础.
声表面波陀螺仪 金属膜层 陀螺效应 检测灵敏度
邵秀婷 王文
中国科学院声学研究所 北京 100190
国内会议
昆山
中文
206-209
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）