流延法制备YSZ陶瓷基板及其NO2气敏性能的研究

摘要：

利用非水基流延法制备性能优良的YSZ陶瓷基板,研究了流延浆料配方和烧结温度对YSZ陶瓷基板性能的影响,当粘结剂:YSZ(质量比)为7.5％,烧结温度为1550℃时,所制备的YSZ陶瓷基板质量最佳.利用所制备的YSZ陶瓷基板和MnCr2O4电极制作的混成电位型传感器对100ppmNO2的响应值△EMF约为44mV,响应恢复时间分别为4s和10s,EMF值和NO2浓度的对数具有较好的线性关系.

关键词： 氧化锆陶瓷基板 流延法 二氧化氮 气敏性能

作者: 尹成果 历建国 关瀛洲 刁泉 粱喜双 郑杰 卢革宇

作者单位: 集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 224-227

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）