单片集成CMOS MEMS三轴电容式加速度传感器

摘要：

基于CMOS MEMS工艺设计一种单片集成三轴电容式加速度传感器.传感器的X、Y轴敏感单元采用多层金属对称的水平定齿动齿均置式,Z轴敏感单元采用多层金属交错梳齿结构,该结构有效地解决了三轴间的交叉耦合问题,较好地提高了系统的稳定性和灵敏度.利用有限元ANSYS软件进行了模拟分析,得到该加速度传感器在水平和垂直方向谐振频率分别为5.04KHz和2.3KHz,灵敏度分别为0.2286fF/g和0.11fF/g,符合目标设计要求.

关键词： 电容式加速度传感器 制备工艺 谐振频率 灵敏度 有限元模拟

作者: 段宝明 许高斌 陈兴

作者单位: 合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,安徽合肥,230009

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 248-251

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）