硅基溅射薄膜传感器研究
硅基MEMS工艺和溅射薄膜传感器进行有机结合,将硅基MEMS工艺小型化、成本低、产量大的优点和溅射薄膜传感器高稳定性的优点同时兼容,并克服了硅基MEMS扩散硅传感器存在不稳定隐患的缺点和溅射薄膜传感器体积大、成本高、不利于大批量生产等缺点.MEMS硅基溅射膜压力传感器是一种新的工艺设计尝试，将扩散硅压阻传感器和溅射薄膜传感器2种产品的工艺设计进行了有机的融合，克服了各自传感器的缺点，发挥了各自的优势，最为重要的是，这为民用市场的传感器应用开辟了广阔空间，具有比较大的现实意义。
压力传感器 硅基溅射膜 微机械加工 工艺设计
郑东明 祝永峰 陈学斌 常胜利
沈阳仪表科学研究院 辽宁沈阳 110043
国内会议
昆山
中文
252-254
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）