压力传感器敏感电阻的位置对受力--输出变化精度的影响
通过对传感器芯片敏感阻条在敏感受力薄膜位置的不同变化进行分析、试验和探索,确立了敏感阻条随着位置的变化,在相应挠度下纵向发生形变对应的横向敏感电阻发生变化的线性对应关系,成功的找到了具有最佳线性变化的电阻位置为内外2点,而非传统认为的内l点,为设计出高精度传感器芯片打下了坚实的基础,同时也使传感器芯片更加小型化的实现变成了可能。
压力传感器 敏感电阻 位置优化 输出精度
郑东明 张治国 张娜 祝永峰
沈阳仪表科学研究院 辽宁沈阳 110043
国内会议
昆山
中文
262-264
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）