硅基压力传感器性能指标及新国标简介

摘要：

文章介绍了硅基压力传感器的基本参数、主要性能指标:电气性能、静态性能、稳定性、动态性能、温度影响、静压影响和环境性能.介绍了新国标的编制过程,主要性能指标及试验方法的确定,温度影响、静压影响的计算公式,给出了环境性能指标的试验条件、试验方法及合格标准.

关键词： 硅基压力传感器 性能指标 检验方法 国家标准

作者: 徐秋玲 徐淑霞 刘沁 殷波 张阳 孙克

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳110043 传感器国家工程研究中心,辽宁沈阳110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 300-307

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）