硅压阻式压力传感器失效分析

摘要：

本文根据硅压阻式压力传感器生产过程和出厂检验中的不合格现象,应用微电子学理论和电子元器件可靠性工程理论进行了原因分析,并从生产工艺角度提出了有效控制成品率提高可靠性的方法.

关键词： 压力传感器 失效分析 微电子学 可靠性理论

作者: 徐淑霞 常胜利 常伟 刘柏汇 朱娜 王彤 李漫漫

作者单位: 沈阳仪表科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 308-309

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）