基于悬臂梁结构的双光纤光栅加速度传感器

摘要：

提出了一种的基于悬臂梁结构的双光纤光栅二维加速度传感器.通过将两支光纤光栅传感器与悬臂梁有效固定,该传感器可以实现加速度信号大小和方向的同时检测.通过理论分析,给出了该加速度传感器的加速度响应和固有频率.实验结果显示:该传感器在X方向的加速度灵敏度为40pm/g,Y方向的加速度灵敏度为18pm/g,固有频率在100Hz左右.实验结果与理论分析吻合的很好.

关键词： 加速度传感器 双光纤光栅 悬臂梁结构 灵敏度 固有频率

作者: 张文涛 侯跃峰 李峰 李芳

作者单位: 中国科学院半导体研究所光电系统实验室,北京100083 中国科学院半导体研究所光电系统实验室,北京100083;内蒙古工业大学化工学院,内蒙古呼号浩特010051 中国科学院半导体研究所光电系统实验室,北京100083;石家庄铁道大学人型结构健康诊断与控制研究所,河北石家庄050043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 332-334

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）