硅电容微差压敏感器件的研制

摘要：

本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的硅电容微差压敏感器件.文中给出了该器件的微结构组成,版图及参数设计、工艺设计,首次提出在中心极板制作导油槽结构提高微差压传感器过压回零响应速度的设计方法,并给出了设计、实施方案及达到的效果.采用该方案已成功研制出硅电容微差压敏感器件,性能优良,在微信号的高精度检测方面具有广阔的应用前景.

关键词： 硅电容微差压传感器 敏感器件 结构特征 制作工艺 响应速度

作者: 李颖 张治国 张娜 刘剑 周磊

作者单位: 沈阳仪表科学研究院 辽宁沈阳 110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 352-356

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）