流量传感器中Pt薄膜敏感电阻工艺研究

摘要：

本文通过对流量传感器中Pt薄膜敏感电阻工艺研究,分别介绍了流量传感器中Pt薄膜生长、Pt薄膜敏感电阻图形制作的基本原理、工艺方法及一些具体应用实例.并通过原子力显微镜(AFM)和台阶仪对薄膜进行表征,分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,制作出了性能较好的Pt薄膜敏感电阻.经实际应用,该Pt薄膜敏感电阻具有良好的稳定性和可靠性,满足流量传感器的使用要求。

关键词： 流量传感器 铂薄膜 敏感电阻 制作工艺

作者: 齐虹 李玉玲 王晓光 张岩 寇文兵

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 357-360

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）