平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造

摘要：

给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案.相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳力,从而降低其振动能量损失,使得其接入锁相环接口电路后的闭环品质因数达到了249.电热驱动和压阻检测方式便于工艺集成和快速检测.基于SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE),本文还给出了该悬臂梁结构的制作方案,并分别在空气和水中对悬臂梁的谐振特性进行了测试.

关键词： 悬臂梁传感器 谐振模态 电热驱动 制作工艺 谐振特性

作者: 俞锋 李昕欣 于海涛

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050;中国科学院研究生院,北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 361-367

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）