新型高频宽带聚焦超声换能器
高频超声换能器是超声成像系统中的重要组成部分,其性能直接影响成像分辨率.结合铌酸锂反转层材料的高频特性及微凹型工艺的聚焦特性,提出了一种微凹型反转层器件,并用于制作高频宽带聚焦超声换能器.利用氢氟酸进行刻蚀后,观察了微凹型反转层器件的电畴结构分布,测量了其电阻抗特性,并制作了高频超声换能器.实验表明,微凹型换能器中心频率72MHz,-6dB带宽为136％,插入损耗为-32dB,能够适用于小动物浅表器官成像.
超声换能器 高频宽带聚焦 反转层器件 电阻抗特性
陈进 戴吉岩 张超 张志甜 冯冠平
清华人学精密仪器与机械学系,北京,100084;香港理工大学应用物理系,香港,999077 香港理工大学应用物理系,香港,999077 深圳清华大学研究院光机电重点实验室,广东深圳,518057
国内会议
昆山
中文
388-392
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）