一种宽量程的电涡流位移传感器
将一只电感线圈与电容首尾相连组成无源谐振器,同轴放置于电涡流位移传感器探头顶部.该谐振器与测量电路间无电气连接,具有较高的品质因数.设计了一个系统化的调理电路,采用略低于谐振器固有频率的稳幅交变电流源,产生激励信号加载到电涡流传感器探头上,并用峰值检测电路拾取探头上的电压响应信号,以实现位移测量.针对制作的直径8mm电涡流传感器探头,选用碳钢、不锈钢和铝板分别作为待测目标金属,进行了位移测量实验.结果表明,该位移测试系统线性范围可以达到探头直径的50％.
电涡流位移传感器 电磁耦合 谐振器 调理电路
刘存跃 董永贵
清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084
国内会议
昆山
中文
409-412
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）