硅电容式压力传感器性能指标及新国标简介

摘要：

文章介绍了硅电容式压力传感器的主要性能指标,包括基本参数、基本性能、静态性能、稳定性、温度影响、过载、静压影响、环境性能和疲劳寿命,着重介绍硅电容式传感器专有性能指标:基础电容、电容偏差、电容增量比.介绍了新国标的编制过程、主要性能指标的试验条件、试验方法、计算公式,给出了检验规则及合格标准.

关键词： 硅电容压力传感器 性能指标 试验方法 国家标准

作者: 张治国 刘沁 李颖 匡石 徐秋玲 于振毅

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳110043 国家仪器仪表元器件质量监督检验中心,辽宁沈阳110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 441-444

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）