硅压阻式压力敏感芯片性能指标及新国标简介

摘要：

文章介绍了硅压阻式压力敏感芯片的基本参数、主要性能指标:外观、敏感电阻、漏电流、击穿电压、隔离电压、零点失调电压、常压失调电压、静态性能、稳定性等.介绍了新国标的编制过程,主要性能指标及试验方法的确定.

关键词： 硅压阻式压力敏感芯片 性能指标 试验方法 国家标准

作者: 徐秋玲 唐慧 刘沁 殷波 吕艳

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳110043 传感器国家工程研究中心,辽宁沈阳110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 458-462

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）