阵列式柔性薄膜力传感器及其处理电路设计

摘要：

设计了一种基于压力敏导电橡胶CSA压阻特性的3×3阵列式柔性薄膜力传感器.该传感器结构采用单面双电极结构,电极布置在柔性电路板(FPC)的同一表面.并且针对这种柔性薄膜力传感器设计了后续处理电路.该电路能完成信号的放大、阵列信号的选通、模数转换等工作.设计的处理电路能够解决阵列式传感器中存在的串扰问题,判断出传感器单元所受加载力的大小和位置,通过实验验证了电路的可行性.

关键词： 柔性薄膜力传感器 双电极结构 处理电路 串扰现象

作者: 张雪蕾 赵玉龙 张学锋

作者单位: 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 463-466

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）