基于Labview的MEMS加速度计自动化测试平台
(0) 为了实现MEMS传感器低成本、批量化生产的要求,解决传统测试仪表功能固定、可升级空间较小等缺点,建立一套高效、可靠的测试系统显得尤为重要.本文介绍了一种以振动台和温湿度交变试验箱作为物理环境系统,以计算机和模块化仪器为电学测试系统核心硬件,以Labview为上层应用程序的MEMS加速度计测试系统,该测试系统可以实现灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等表征传感器性能指标的所有参数的测试.重点阐述了该自动化测试系统实现方法和测试数据实时记录、分析与显示的可视化功能,为快速、高效、全自动的MEMS传感器测试提供了技术支持.
加速度传感器 测试系统 性能指标
谭振新 赵敏 明安杰 欧文 陈大鹏
江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心,无锡214135
国内会议
昆山
中文
494-497
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）