几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比

摘要：

随着IPHONE手机以及WII体感游戏的普及,MEMS传感器具有广大的市场和研发趋势.作为一种典型的MEMS传感器,电容式MEMS传感器以及后端的读出电路也得到了更多的关注和重视.首先介绍了电容式MEMS传感器的特点和应用;随后介绍和分析了几种常用的读出电路;并在CSMCOS工艺下仿真和测试了电路的输出性能，同时,提取了这几种电路的典型结构;最后,给出了在SPECTRE测试的结果,并总结了这几种电路的优缺点,为进一步的ASIC设计提供了很好的参考和分析。

关键词： 电容传感器 读出电路 结构特征 输出性能

作者: 何鑫 祖秋燕 王玮冰 宋冬雪 孟如男

作者单位: 中国科学院微电子研究所,北京100029;江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心,江苏无锡214135 中国科学院微电子研究所,北京100029 中国科学院微电子研究所,北京100029;中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029;江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心,江苏无锡214135 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心,江苏无锡214135

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 518-521

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）