热膜式气体流量传感器发热器控制电路设计

摘要：

介绍热膜式气体质量流量传感器发热控制电路工作原理,提出发热控制电路中加热电阻器温度设定及调试方法,合理设计匹配电阻器及加热电阻器,实现对加热电阻器温度精确设定.合理地对加热电阻器温度进行温度补偿,满足加热电阻器温度要求,降低流量传感器发热控制电路功率消耗,可显著提高传感器精度,环境温度在-20～125℃间加热电阻器温度精度控制在1％.其传感器精度高达3％.

关键词： 气体质量流量传感器 发热控制电路 加热电阻器 温度补偿

作者: 谌福华 王长虹 谢胜秋

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 539-542

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）